Glaskoolstofcoating

Een coating van glasachtig koolstof wordt doorgaans gebruikt wanneer reinheid van het grootste belang is. Het creëert een gladder en inert oppervlak op grafiet, wat helpt om de deeltjesvorming tijdens de werking te verminderen.

Je ziet het terug in toepassingen zoals de groei van siliciumkristallen, epitaxie of MOCVD-susceptoren. In sommige gevallen wordt het ook buiten de halfgeleiderindustrie gebruikt, bijvoorbeeld in metallurgische gereedschappen.

Een interessant toepassingsvoorbeeld is te vinden in MBE-systemen. Door de hogere elektrische weerstand kan het bepaalde componenten helpen om efficiënter de bedrijfstemperatuur te bereiken, soms zonder dat extra koeling nodig is. Het is niet de meest voorkomende coating, maar in specifieke omgevingen – met name waar strenge regels voor contaminatiebeheersing gelden – kan het een praktische optie zijn.