Kwarts onderdelen

Kwartsz is nog steeds alomtegenwoordig in de halfgeleiderproductie. Het is niet nieuw, maar wel betrouwbaar, en de meeste fabrieken zijn bekend met de eigenschappen ervan. Zolang de zuiverheid maar gecontroleerd wordt, werkt het goed in diffusie-, oxidatie- en reinigingsstappen.

Veel kwartsonderdelen worden gebruikt in ovensystemen of PECVD-apparatuur. De belangrijkste eis is stabiliteit – niet per se een lange levensduur, maar wel voorspelbare prestaties. Dat is meestal voldoende voor veel standaardprocessen.

Natuurlijk heeft kwarts zijn beperkingen. Het kan onder bepaalde omstandigheden sneller slijten, vooral in vergelijking met siliciumcarbide (SiC). Maar omdat het relatief gemakkelijk verkrijgbaar en niet al te duur is, wordt het nog steeds veel gebruikt.